真空测量技术_全球播资讯
2023-04-03 13:12:47 来源:互联网 小 中
【资料图】
1、 真空测量技术是测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度的技术。
2、测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度(即真空度)的技术。
3、真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺、表面分析技术等领域有广泛应用。
4、真空度常用容器中气体的总压强P来表示。
5、气体压强的测量单位是牛顿/米2,简称帕(Pa)。
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